EDS広域マップ測定

ウィンドウレスEDS検出器をデュアル搭載したSEMで、さまざまな観察ができます。

• 試料の広い領域（cmオーダー）でSEM像の取得、高感度での元素分布確認ができます。
• 多数視野の高解像度データを自動取得して、ひとつの広域視野データに合成する事ができます。
• 8インチウェハ、6インチ角形マスク、6インチウェハの傾斜観察が可能です。

ウインドウレスEDS検出器 (画像提供：日本電子株式会社様)

初期腐食が生じた金属板の観察例

測定の流れ

全面の状態を見た上で、腐食が顕著な箇所や特異な箇所の詳細情報を得る。
①広域のSEM・EDSデータを取得
②広域データ内の任意視野で解析
　・ 視野サイズ： 42mm四方
　・ 分割数　　：17×23

サンプル外観（デジタルカメラ写真）

金属表面に初期腐食と思しき模様が見られる。
（試料サイズ：40mm四方）

測定手順１：広範囲のSEM像/EDS像を取得。画像合成

広範囲を自動測定、画像結合（下記は視野サイズ： 42mm四方（分割数：17×23）の例）

測定手順２：任意の視野での解析

特異な箇所など任意の場所を拡大、像観察、EDSスペクトル抽出や線分析

解析1　定性分析

スペクトル

解析2　線分析

線分析

適用例

• ウェハ・チップ上パターンの欠陥や汚染の解析
• 製品表面の凹凸・組成むらの解析
• 製品表面に散在する構造の解析
• ビーム照射耐性の弱いサンプル観察、EDS分析