Design und Produktion von optischen EUV-/Röntgensystemen
Wir entwickeln und fertigen optische Systeme zur Fokussierung und Abbildung extremer Ultraviolett- (EUV) und Röntgenstrahlen.
Besonderheit
Das optische System zur Fokussierung und Abbildung von EUV-Licht und Röntgenstrahlen, die kürzere Wellenlängen als sichtbares Licht haben, hängt von der Art der Lichtquelle und dem zu beobachtenden Objekt ab. Es wird eine Art Teleskop verwendet.
Zusätzlich zu diesen verschiedenen optischen Systemen bieten wir auch optische Systeme und Elemente für die Spektroskopie, Strahlformung und Strahlteilung, Auswerteelemente und Einstellmechanismen für verschiedene optische Elemente an. Wir bieten auch EUV- und weiche Röntgenspektrometer von HP Spectroscopy für den Einsatz in Japan an.
Produktionsbeispiel
Dabei handelt es sich um ein kondensierendes oder abbildendes optisches System, das einen direkt einfallenden konkaven Spiegel und einen konvexen Spiegel kombiniert. Jeder Spiegel ist je nach verwendeter Wellenlänge mit einer Mehrschichtbeschichtung oder einer Einzelschichtbeschichtung beschichtet.
Hierbei handelt es sich um ein kondensierendes optisches System, das zwei konkave Spiegel mit schrägem Einfall kombiniert. Jeder Spiegel ist mit einer Einzelschichtbeschichtung versehen, um eine Totalreflexion zu gewährleisten, die der verwendeten Wellenlänge entspricht.
代表的な光学素子
Wir stellen optische Elemente, Verstellmechanismen, Vakuumbehälter usw. entsprechend Ihren Anforderungen zur Verfügung.
| Typische optische Elemente | |
|---|---|
| Kondensationselement | EUV/weicher Röntgenspiegel, harter Röntgenspiegel, Fresnel-Zonenplatte, Toroidspiegel, Sammellinse für ultraviolettes Licht |
| spektroskopisches Element | EUV-Transmissionsgitter, dichroitischer EUV-Spiegel, weicher Röntgen-Mehrschichtpolarisator |
| Strahlformungselement | Röntgen-Mittelstrahlblende, Röntgenblende, Röntgenspalt |
| Strahlteilungselement | EUV-Mehrschichtstrahlteiler |
| Spektrometer/Detektor | EUV/Röntgenspektrometer/Fotodetektor, Röntgenfilterbehälter |
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