Weicher Röntgen-Mehrschichtpolarisator

Im EUV-Bereich und im weichen Röntgenbereich, wo der Brechungsindex des Materials nahe bei 1 liegt, beträgt der Brewster-Winkel etwa 45 Grad. Daher weist der mehrschichtige Spiegel für den Einsatz um 45 Grad nur für s-polarisiertes Licht ein hohes Reflexionsvermögen auf und fungiert auch als Polarisator. Unter Ausnutzung dieser Eigenschaft bieten wir mehrschichtige Filmpolarisatoren mit ausreichender Effizienz von ca. 30 eV bis 800 eV (1,5 nm – 40 nm) an.
Diese mehrschichtigen Filmpolarisatoren werden nicht nur für Experimente zu physikalischen Eigenschaften mit Synchrotronstrahlung und Oberwellen höherer Ordnung verwendet, sondern auch für die Grundlagenforschung für industrielle Anwendungen wie die EUV-Lithographie.