EUV-Strahlteiler
Wir bieten EUV-Strahlteiler mit beliebigem Transmissions- und Reflexionsgrad.
Besonderheit
Durch die Verwendung eines EUV-Strahlteilers, der auch als EUV-Halbspiegel bezeichnet wird, kann EUV-Licht genauso wie sichtbares Licht und ultraviolettes Licht in transmissive und reflektive Anteile aufgeteilt werden. Dieses optische Element, das aus einer freistehenden Mo/Si-Mehrschichtfolie besteht, wird beim Bau von Interferometern und als Strahlmonitor verwendet. Auf Wunsch passen wir Transmission/Transmissionsverhältnis, Einfallswinkel etc. im 13,5 nm Wellenlängenbereich an.
設計例
波長13.5 nm, s偏光用ビームスプリッタの反射・透過特性
標準仕様
Wir werden das Transmissions-/Reflexionsverhältnis, den Einfallswinkel, die Mittenwellenlänge und die Größe gemäß Ihrer Anfrage anpassen. Wir bieten es auch montiert in einer Metallhalterung an.
| Standardspezifikationen | |
|---|---|
| Strahlteilerteil | 7 x 7 mm, freistehender Mo/Si-Multilayer |
| Rahmenteil | 14 mm x 14 mm, 0,5 mm dickes Si-Substrat |
| Einfallswinkel | 45 Grad, 6 Grad |
| zentrale Wellenlänge | 13,5 nm |
| Reflexions-/Transmissionseigenschaften | 1:1, hohe Reflexion, hohe Transmission |
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