EUV-Toroidspiegel
Wir bieten hochpräzise Toroidspiegel für EUV-, VUV- und weiche Röntgenbereiche.
Besonderheit
Toroidspiegel mit streifendem Einfall werden in experimentellen Systemen verwendet, die eine breitbandige harmonische Fokussierung höherer Ordnung erfordern, wie beispielsweise in der Attosekundenwissenschaft. Die toroidalen Spiegel von NTT-AT werden von Forschern an vielen Universitäten und Forschungsinstituten aufgrund ihrer Formen und verschiedenen Beschichtungen verwendet, die an ihre Bedürfnisse angepasst werden können.
Direkt einfallende Toroidspiegel können in experimentellen Systemen verwendet werden, bei denen Aberrationen bei sphärischen Spiegeln ein Problem darstellen. Abhängig von Ihren Einsatzbedingungen können Sie zwischen hochreflektierenden, breitbandigen oder schmalbandigen EUV-Mehrschichtbeschichtungen wählen.
Produktionsbeispiel
Schräger Einfallswinkel 3 Grad
Schräger Einfallswinkel 2 Grad
Beschichtungsbeispiel
Typische Spezifikationen
Die Substratform und -beschichtung gestalten wir nach Ihren Wünschen.
| Typische Spezifikationen | |
|---|---|
| Maximale Spiegellänge | 200 mm |
| minimaler Krümmungsradius | 10 mm |
| Genauigkeit der Brettform | λ/4 PV @633 nm |
| Mehrschichtiges Beschichtungsmaterial | Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg |
| Einschichtiges Beschichtungsmaterial | Au, Pt, Ru, Ni, B4C, SiC, C |
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