Dichroitischer EUV-Spiegel

Um das durch die Erzeugung von Harmonischen höherer Ordnung erzeugte EUV-Licht effizient zu nutzen, ist es notwendig, das hochintensive Pumplicht, das sich koaxial mit dem EUV-Licht ausbreitet, zu trennen.
Der dichroitische EUV-Spiegel von NTT-AT reflektiert breitbandiges EUV-Licht und verhindert die Reflexion von sichtbarem oder nahem Infrarot-Pumplicht mit einer hohen Zerstörschwelle im Vergleich zu Dünnschichtfiltern und Brewster-Winkelstrahlteilern.
Neben Standardprodukten für 800-nm-Entspiegelung bieten wir auch kundenspezifische Produkte basierend auf gewünschter Wellenlänge, Spiegelgröße und Einfallswinkel an. Wir bieten auch doppelseitig beschichtete Produkte zur Strahlkopplung an.