EUV-Spiegel / weicher Röntgenspiegel
Wir bieten mehrschichtige Spiegel und einschichtige Spiegel für EUV.
Besonderheit
Wir bieten EUV-Spiegel, die EUV-Licht mit einer Photonenenergie von 10 eV - 1 keV (Wellenlänge 120 nm - 1,2 nm) mit hoher Effizienz reflektieren. Dieser Energiebandspiegel, auch weiches Röntgen- oder XUV-Licht genannt, wird in einer Vielzahl von Bereichen eingesetzt, wie z. und Beobachtung von weichem Röntgenplasma
Mehrschichtige Filmspiegel werden hauptsächlich für direkten Einfall verwendet, und einschichtige Filmspiegel werden hauptsächlich für schrägen Einfall verwendet.
Gestaltungsbeispiel
Typische Spezifikationen
Die Substratform und -beschichtung gestalten wir nach Ihren Wünschen.
| Typische Spezifikationen | |
|---|---|
| Maximale Größe | Durchmesser 3 mm - 450 mm |
| Spiegelform | Plan, konkav, zylindrisch, parabolisch, kugelförmig, toroidal |
| mehrschichtiges Material | Ru/B4C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg, W/B4C |
| Einlagiges Material | Ru, B4C, C, Ni, Au |
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Designbeispiel für EUV-Mehrschichtspiegel
Dies ist ein Designbeispiel eines Mehrschichtspiegels für 20 eV – 150 eV (Wellenlänge 60 nm – 8 nm).
Ru/B4C多層膜ミラー
（150 eV - 100 eV)
150 eV用
120 eV用
100 eV用
Mo/Si多層膜ミラー（95 eV - 70 eV)
90 eV用
80 eV用
Zr/AlSi多層膜ミラー
（70 eV - 50 eV)
70 eV用
60 eV用
50 eV用
SiC/Mg多層膜ミラー
（45 eV - 20 eV)
40 eV用
30 eV用
20 eV用
EUV多層膜ミラー 標準品仕様
| Standardmodell | EUVML-(a)-(b)-(c)-(d)-(e)(f) |
|---|---|
| (a) Mehrschichtiges Folienmaterial | Ru/B4C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg |
| (b) Reflektierender Typ | H: Hohes Reflexionsvermögen, N: Schmalband, B: Breitband |
| (c) Einfallswinkel | 0 Grad - 60 Grad |
| (d) zentrale Energie | 20 eV - 150 eV (60 nm - 8 nm) |
| (e) Größe des Boards | 1025: 1 Zoll Durchmesser x 0,25 Zoll Dicke 0525: 0,5" Durchmesser x 0,25" Dicke |
| (f) Art der Tafel | F: flach, C: konkav (Krümmungsradius 100 mm - 3000 mm) |
Designbeispiel für einen EUV-Einschichtfilmspiegel
10 eV - 1 keV（波長120 nm - 1.2 nm）用単層膜ミラーの設計例です。
Auミラー
Niミラー
Ruミラー
SiCミラー
B4Cミラー
EUV単層膜ミラー 標準品仕様
| Standardmodell | EUVSM-(a)-(b)(c) |
|---|---|
| (a) Beschichtungsmaterial | Au, Ni, Ru, B4C, SiC |
| (b) Substratgröße | 1025: 1 Zoll Durchmesser x 0,25 Zoll Dicke 0525: 0,5" Durchmesser x 0,25" Dicke |
| (c) Substrattyp | F: flach, C: konkav (Krümmungsradius 100 mm - 3000 mm) |
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