EUV-Spiegel / weicher Röntgenspiegel
Wir bieten mehrschichtige Spiegel und einschichtige Spiegel für EUV.
Besonderheit
Wir bieten EUV-Spiegel, die EUV-Licht mit einer Photonenenergie von 10 eV - 1 keV (Wellenlänge 120 nm - 1,2 nm) mit hoher Effizienz reflektieren. Dieser Energiebandspiegel, auch weiches Röntgen- oder XUV-Licht genannt, wird in einer Vielzahl von Bereichen eingesetzt, wie z. und Beobachtung von weichem Röntgenplasma
Mehrschichtige Filmspiegel werden hauptsächlich für direkten Einfall verwendet, und einschichtige Filmspiegel werden hauptsächlich für schrägen Einfall verwendet.
Gestaltungsbeispiel
Typische Spezifikationen
Die Substratform und -beschichtung gestalten wir nach Ihren Wünschen.
| Typische Spezifikationen | |
|---|---|
| Maximale Größe | Durchmesser 3 mm - 450 mm |
| Spiegelform | Plan, konkav, zylindrisch, parabolisch, kugelförmig, toroidal |
| mehrschichtiges Material | Ru/B4C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg, W/B4C |
| Einlagiges Material | Ru, B4C, C, Ni, Au |
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Designbeispiel für EUV-Mehrschichtspiegel
Dies ist ein Designbeispiel eines Mehrschichtspiegels für 20 eV – 150 eV (Wellenlänge 60 nm – 8 nm).
Ru/B 4C-Mehrschichtspiegel
(150 eV - 100 eV)
Für 150 eV
Für 120 eV
Für 100 eV
Mo/Si-Mehrschichtspiegel (95 eV - 70 eV)
Für 90 eV
Für 80 eV
Zr/AlSi-Mehrschichtspiegel
(70 eV - 50 eV)
Für 70 eV
Für 60 eV
Für 50 eV
SiC/Mg-Mehrschichtspiegel
(45 eV - 20 eV)
Für 40 eV
Für 30 eV
Für 20 eV
EUV-Mehrschichtspiegel – Standardspezifikationen
| Standardmodell | EUVML-(a)-(b)-(c)-(d)-(e)(f) |
|---|---|
| (a) Mehrschichtiges Folienmaterial | Ru/B4C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg |
| (b) Reflektierender Typ | H: Hohes Reflexionsvermögen, N: Schmalband, B: Breitband |
| (c) Einfallswinkel | 0 Grad - 60 Grad |
| (d) zentrale Energie | 20 eV - 150 eV (60 nm - 8 nm) |
| (e) Größe des Boards | 1025: 1 Zoll Durchmesser x 0,25 Zoll Dicke 0525: 0,5" Durchmesser x 0,25" Dicke |
| (f) Art der Tafel | F: flach, C: konkav (Krümmungsradius 100 mm - 3000 mm) |
Designbeispiel für einen EUV-Einschichtfilmspiegel
Dies ist ein Beispielentwurf für einen einschichtigen Spiegel für den Bereich von 10 eV bis 1 keV (Wellenlänge 120 nm bis 1,2 nm).
Au Mirror
Ni-Spiegel
Ru Mirror
SiC-Spiegel
B 4 C Spiegel
EUV-Einzelschichtspiegel – Standardspezifikationen
| Standardmodell | EUVSM-(a)-(b)(c) |
|---|---|
| (a) Beschichtungsmaterial | Au, Ni, Ru, B4C, SiC |
| (b) Substratgröße | 1025: 1 Zoll Durchmesser x 0,25 Zoll Dicke 0525: 0,5" Durchmesser x 0,25" Dicke |
| (c) Substrattyp | F: flach, C: konkav (Krümmungsradius 100 mm - 3000 mm) |
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