EUV光学部品

お客様のご用途に合わせて、EUV光学部品を設計・製作・調整します。

EUVミラー / 軟X線ミラー

EUVトロイダルミラー

EUVダイクロイックミラー

EUVビームスプリッタ

透過型回折格子

紫外光用集光レンズ

軟X線多層膜偏光子