硅波導 (硅光子學)
支持尖端研發的代工服務
促進客戶研發，實現創意!!
本公司硅波導制作服務的特點
1. Si細線導波路 -基本的な試作チップ製作例-
在基於硅微細波導的平臺上，根據客戶的設計實現超微細光電路。
規格示例
| 波導芯徑 | 400~500 nm寬x 220 nm厚 |
|---|---|
| 環形諧振腔 | 150納米或更高 |
| 波導區域 | 5mm×5mm |
| SS轉換芯徑 | 3μm×3μm |
| SS轉換波導間隔 | 50μm以上 |
| 切屑尺寸 | 15mm×5.6mm |
パッシブ導波路・光回路に対応
2. 低損失接続： スポットサイズ変換器
通過在波導末端附加點大小轉換，可以以低損耗連接光纖和激光器。(1.5 [dB/connection] )
將光纖陣列連接到硅晶片的示例
光纖陣列連接結構
3.可選加工實例
- 溫控加熱器及附加佈線
- 高精度控制折射率和控制透射波長。
- 功能材料介紹
- 極化材料等功能材料的引入。
溫度控制用極小Ta加熱器
- 應用實例
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○光開關、精密波長濾波器
- 客戶要求
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○通過局部加熱精密控制光學特性
- 解決方案
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- 通過採用高熔點金屬Ta薄膜，實現了不易斷裂的加熱器
- 通過高精度形狀加工，實現極微細加熱器
- 低電阻Au佈線，僅加熱特定區域
石英 (覆層) 上的Ta加熱器圖案加工例
應用實例
功能材料的導入
可以使用各種功能材料形成覆蓋層。
- 應用實例
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○感測器、調制器
- 客戶要求
-
○硅導波路與功能材料混合
- 解決方案
-
- Si波導部分暴露結構的實現
- 組合幹法蝕刻和濕法蝕刻，適用於不損傷Si波導的加工
- 實現不形成部分覆蓋的過程
