EUV鏡/軟X線鏡

特征

Mo/Si多層膜鏡

我們提供可高效反射光子能量為 10 eV - 1 keV（波長 120 nm - 1.2 nm）的 EUV 光的 EUV 反射鏡。這種能帶反射鏡，也稱為軟 X 射線或 XUV 光，廣泛用於 EUV 光刻等工業應用、使用高次諧波的超高速物理和化學研究、天體物理學應用、和軟X射線等離子體觀測。它是
多層鏡主要用於直入射，單層鏡用於斜入射。

設計示例

      Mo/Si多層膜鏡，入射角0度
 

      Ru單層膜鏡，入射角80度
 

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代表性規格

我們會根據您的要求進行基板形狀設計和塗層設計。

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EUV多層膜鏡設計實例

20 eV -150 eV (波長60 nm -8 nm) 用多層膜鏡的設計實例。

Ru/B₄C 多層反射鏡 (150 eV - 100 eV)

150 eV用

         反射率: 33%, バンド幅: 1.9 eV

         反射率: 31%, バンド幅: 3.1 eV

120 eV用

         反射率: 40%, バンド幅: 2.2 eV

         反射率: 40%, バンド幅: 4.5 eV

100 eV用

         反射率: 41%, バンド幅: 3.3 eV

         反射率: 41%, バンド幅: 6.6 eV

Mo/Si多層膜鏡 (95 eV -70 eV)

90 eV用

         反射率: 68%, バンド幅: 3.5 eV

         反射率: 67%, バンド幅: 6.1 eV

80 eV用

         反射率: 61%, バンド幅: 3.1 eV

         反射率: 60%, バンド幅: 7.7 eV

Zr/AlSi多層膜鏡 (70 eV -50 eV)

70 eV用

         反射率: 59%, バンド幅: 2.8 eV

         反射率: 59%, バンド幅: 4.4 eV

60 eV用

         反射率: 49%, バンド幅: 3.3 eV

         反射率: 49%, バンド幅: 6.3 eV

50 eV用

         反射率: 32%, バンド幅: 4.9 eV

         反射率: 32%, バンド幅: 9.6 eV

SiC/Mg多層反射鏡 (45 eV -20 eV)

40 eV用

         反射率: 48%, バンド幅: 2.5 eV

         反射率: 48%, バンド幅: 3.0 eV

30 eV用

         反射率: 44%, バンド幅: 3.1 eV

         反射率: 45%, バンド幅: 3.8 eV

20 eV用

         反射率: 41%, バンド幅: 3.1 eV

反射率:46%

EUV多層膜反射鏡標準品規格

EUV單層膜鏡設計實例

Au鏡

 

 

Ni鏡

 

 

Ru鏡像

 

 

SiC鏡

 

 

B₄C鏡

 

 

EUV單層膜鏡標準品規格

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