硅波導 (硅光子學)
支持尖端研發的代工服務
促進客戶研發，實現創意!!
弊社シリコン導波路作製サービスの特徴
根據客戶的設計制作硅波導
高度加工技術に支えられたSi細線導波路ベースのプラットフォーム上にお客様の設計に基づいた極微細光回路を実現します。
※ 設計図（ GDSⅡ形式 もしくは dxf 形式）をご用意ください。
實現硅波導與光纖陣列之間的低損耗連接
スポットサイズ変換器の搭載により光ファイバなどと低損失での接続が可能となり、お客様の高精度評価を実現します。
滿足多種設計需求
光学特性の精密制御、ポリマー等の異種材料との複合のなどお客様の多様なニーズにオプションにて対応します。
硅波導的制作→特性評價→到光纖安裝的無縫對應
シリコン導波路の作製のみならず、お客さま要望に基づき光学特性の評価そしてチップへの光ファイバ付け実装まで、シームレスな対応が可能です。
1. Si細線導波路 -基本的な試作チップ製作例-
在基於硅微細波導的平臺上，根據客戶的設計實現超微細光電路。
仕様例
| 波導芯徑 | 400~500 nm寬x 220 nm厚 |
|---|---|
| 環形諧振腔 | 150納米或更高 |
| 波導區域 | 5mm×5mm |
| SS轉換芯徑 | 3μm×3μm |
| SS轉換波導間隔 | 50μm以上 |
| 切屑尺寸 | 15mm×5.6mm |
パッシブ導波路・光回路に対応
2. 低損失接続： スポットサイズ変換器
通過在波導末端附加點大小轉換，可以以低損耗連接光纖和激光器。(1.5 [dB/connection] )
光ファイバアレイをSiチップに接続した例
ファイバアレイの接続構造
3. オプション加工例
- 溫控加熱器及附加佈線
- 高精度控制折射率和控制透射波長。
- 功能材料介紹
- 極化材料等功能材料的引入。
温度制御用極小Taヒーター
- 應用實例
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○光スイッチ、精密波長フィルタ
- お客様要求
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○局所加熱による光学特性の精密制御
- 解決策
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- 高融点金属のTa薄膜にすることで、切れにくいヒータを実現
- 高精度形状加工により、極微細ヒータを実現
- 低抵抗Au配線による引き回しで、特定部分のみの加熱を実現
石英（オーバークラッド）上のTaヒータパタン加工例
應用實例
機能材料の導入
種々の機能材料を用いて、オーバークラッドが形成できます。
- 應用實例
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○センサ、変調器
- お客様要求
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○Si導波路と機能材料をハイブリッド化
- 解決策
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- Si導波路の部分露出構造の実現
- ドライエッチング及びウェットエッチングを組み合わせてSi導波路にダメージを与えない加工を適用
- 部分的にオーバークラッドを形成しないプロセスの実現
