Co-Cr合金薄膜の微細偏析構造
超高分解能SEM観察
Co-Cr合金磁性薄膜は、結晶粒内に微細な組成分離構造を有する事が知られています。この微細偏析構造を超高分解能で観察しました。

適切なエッチングを施すことにより微細偏析構造を浮き出させ、数十Åの微細な構造が明確に観察することができました。

J.Appl phys.61(5)MARCH 1987
Co-Cr合金磁性薄膜は、結晶粒内に微細な組成分離構造を有する事が知られています。この微細偏析構造を超高分解能で観察しました。

適切なエッチングを施すことにより微細偏析構造を浮き出させ、数十Åの微細な構造が明確に観察することができました。
