Si表面の単原子ステップの断面構造観察

Si表面を高真空中熱処理すると、処理条件に応じて単原子のステップやステップが集まった（バンチング）段差が生じます。ステップ、段差はSTMやAFMあるいは、表面SEMで観察されますが、注意深く作製した断面試料を高分解能TEM観察することによりステップの断面構造を原子オーダで観察することができます。

写真はバンチングによって生じた階段構造を、高分解能で観察した例です。