ウィークビーム法によるGaNエピ膜の転位観察

ウィークビーム法とは

励起誤差を大きくした条件（|sg|>>0）で観察するため、通常の条件（sg=0, もしくは僅かに正）に比べて回折波の強度が弱い（ウィークビーム）。転位芯近傍のみがBragg条件を満足するため、通常の暗視野像に比べシャープな転位像が得られる。

ウィークビーム法により転位をシャープに観察し、転位の種類（刃状、らせん）を判定しました。