Röntgenbeugungsgitter
Phasengitter/Absorptionsgitter für die Röntgen-Talbot-Bildgebung mit geringer Seitenwandrauheit und ausgezeichneter Beständigkeit gegen Röntgenstrahlung.
Besonderheit
Die Phasengitter und Absorptionsgitter von NTT-AT für die Röntgen-Talbot-Bildgebung werden auf Basis der High-Aspekt-Si-Ätztechnologie und der Au-Plattierungstechnologie hergestellt und weisen im Vergleich zu herkömmlichen Photoresistgittern eine ausreichend hohe Röntgenintensität auf, wodurch Strahlungsbeständigkeit erreicht wird. Es reduziert auch die Verschlechterung der Messumgebung aufgrund der Entstehung von Ablagerungen.- Phasengitter: Si-Struktur mit geringer Rauheit und hoher Vertikalität
- Absorptionsgitter: Au-plattierter Absorber eingebettet in eine Si-Struktur mit geringer Rauheit und hoher Vertikalität
Standardproduktspezifikationen
| Absorptionsgitter | Phasengitter | |
|---|---|---|
| Material | Absorbierender Teil: Au, übertragender Teil: Si | Phasenmodulationsabschnitt: Si |
| Membran | Si, 50 μm dick | Si, 50 μm dick |
| Tonhöhe/Höhe | 3 μm / 10 μm | 2 μm / 20 μm |
| maximale Fläche | 10 mm im Quadrat | 40 mm im Quadrat |
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