Röntgentafel | EUV-Optik, Röntgenoptik | NTT-AT NTT‑AT Produktinformationen zu führender Schlüsseltechnologie

Besonderheit

Röntgenmikroskopische Aufnahme — Röntgendiagramm REM-Bild

Die Röntgenmikroskopie wird als hochauflösendes bildgebendes Verfahren in verschiedenen Bereichen eingesetzt, für die Auswertung sind jedoch Diagramme mit ausreichend hoher Auflösung erforderlich. Die Röntgendiagramme von NTT-AT mit hochauflösenden Tantal (Ta)-Absorbermustern auf SiC- und SiN-Membranen werden zur Auflösungsbewertung in Synchrotronstrahlungsanlagen auf der ganzen Welt verwendet.
Abhängig von Ihrer Anwendung können Sie zwischen drei Typen wählen: Standardtyp, Dickschichttyp mit hoher Auflösung und Typ mit ultrahoher Auflösung. Wir bieten auch Reflexionskarten für den EUV-Bereich an.

Standardproduktspezifikationen

Artikel		Standard-Typ XRESO-100	Hochauflösender Dickschichttyp XRESO-50HC	Superhochauflösender Typ XRESO-20
Muster	Absorber	Ta, 1,0 µm Dicke	Ta, 500 nm Dicke	Ta, 100 nm dick
	Mindestmaß	100 nm	50 nm	20 nm (radiales Muster)
	Musterbereich	250 µm×350 µm	300 µm×300 µm
Membran		Ru (20 nm)/SiN (2 µm)	Ru (20 nm)/SiC (200 nm)/SiN (50 nm)
Substrat	Material/äußere Form	Si, 10 mm×10 mm
Substrat	Dicke	1 mm	0.625 mm