Feine Messskala für die Strahlbreite
- Wir haben es möglich gemacht, die feinen Strahlgrößen von Elektronenstrahlen, Ionenstrahlen und Röntgenstrahlen zu messen.
- Die Strahlbreite kann in nm-Einheiten gemessen werden.
- 1D- und 2D-Messungensind verfügbar.
(b) Intensität des übertragenen Elektronenstrahls
Beispiel für die Messung der Elektronenstrahlgröße
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34（1995）6940