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Längenmessskala

  • Ideal für die Längen- und Winkelkalibrierung von Rastersondenmikroskopen usw. Unverzichtbar für die Auswertung feiner Muster
  • Niedriger Preis und kurze Lieferzeit

* Wir können auch Sonderanfertigungen für extrem feine Strukturen mit einer Teilung von 100 nm oder weniger realisieren.

Merkmale und Spezifikationen

Vertikaler Typ (AS100P-D) Geneigter Typ (AS200P-A)
Verwendungszweck Längenkalibrierung, Sondenformauswertung Winkelkalibrierung
Besonderheit
  • Da anisotropes Ätzen auf einem Si(110)-Substrat verwendet wird, ist die Musterform vertikal und genau.
  • Aufgrund des hohen Grades an Orthogonalität ist eine genaue Messung der Sondenform möglich
  • Da anisotropes Ätzen auf einem Si(100)-Substrat verwendet wird, ist der Neigungswinkel des Musters genau bei 54,7 Grad.
  • Genauer Neigungswinkel von 54,7 Grad, ideal für die Bestätigung der Reproduzierbarkeit von Geräten
Neigungswinkel 90 Grad 54,74 Grad
Muster-Art 1:1 L&S (konkav außerhalb des Musterbereichs) 400 nm L&S
400-nm-Raster
200 nm L&S
100 nmL&S oder mehr 4 Typen
Linienbreite (konvex). 50~250 nm 100~400 nm
Mustertiefe 125 nm±20% 100–200 nm (Standard)
Musterbereich 200 μm × 200 μm 184 μm × 184 μm × 4 (Saat)
Substrat Si 10 mm × 10 mm × 0,525 mmt Si 10 mm × 10 mm × 0,525 mmt

Wir bieten günstige Preise und schnelle Lieferung. Kontaktieren Sie uns gerne.

Vertikaler Typ (AS100P-D)

L&S-Querschnitt mit 100-nm-Abstand
L&S-Querschnitt mit 100-nm-Abstand

Schräge Ausführung (AS200P-A)

AFM-Beobachtungsbild(Einheit: horizontale Richtung: μm, vertikale Richtung: nm)

400-nm-Pitch-L&S-Muster
400-nm-Pitch-L&S-Muster
800-nm-Rasterraster
800-nm-Rasterraster

Beispiele für maßgefertigte Produkte

TEM-Aufnahme

L&S-Querschnitt mit 50 nm Abstand
L&S-Querschnitt mit 50 nm Abstand