Es handelt sich um eine mehrschichtige Filmstandardprobe, die zur Bewertung der Tiefenrichtungsauflösung, Abstandsmessung und Empfindlichkeitsbewertung wie SIMS-, AES-, XPS- und XRF-Analyse verwendet wird.
Wir stellen Ihnen ein Standardmuster Ihrer gewünschten Materialkombination, Folienstärke und Anzahl der Schichten zur Verfügung.
Produktionsbeispiel
Si/BN-Mehrschichtfilmprobe
- Dies ist eine laminierte Folienprobe, die für Tiefenrichtungsanalysen wie SIMS-Analysen verwendet wird.
- Neben periodischen mehrschichtigen Folienmustern unterstützen wir auch nicht periodische mehrschichtige Folienmuster.
- Es ist auch möglich, eine ultradünne BN-Schicht (~0,01 nm) zu bilden.

Beispiel für die Bewertung der Querschnittsstruktur durch TEM

Schematisches Diagramm der Si/BN-Mehrschichtstruktur

Beispiel einer SIMS-Tiefenprofilanalyse

Beispiel einer Oberflächenrauheitsmessung durch AFM
Si/Mo-Mehrschichtfilmprobe

Si/Mo-Mehrschichtfilmprobe

Schematische Darstellung der Si/Mo-Mehrschichtstruktur

AES-Messung

Beispiel für die Auswertung der AES-Analyse
Verschiedene laminierte Muster
- Wir können Verbundfolien aus verschiedenen Materialien verarbeiten.
- Die folgende Abbildung ist ein Beispiel für ein Muster, bei dem vier verschiedene Arten von Materialien laminiert sind.


Beispiel für die Bewertung der Querschnittsstruktur und schematisches Diagramm durch TEM