ウエハ表面の汚染元素マッピング　(Sweeping-TXRF)

全反射蛍光X線分析応用例
詳細なマッピングデータからウエハの汚染分布を明らかにします！

汚染の分布と量が同時に分かります

一般的にウエハの汚染元素分析は5点程の測定で評価するため、汚染の全体像は見えません。

※ ウエハエッジから約20mmの範囲（グレーハッジ）については測定対象外となります。

Sweeping-TXRFでは、ウエハ表面を広範囲に分析することで
汚染分布と汚染量を同時に評価することができます。

Sweeping-TXRFなら

面で分析

• ウエハ表面を広範囲に測定し、汚染分布の確認ができます。
• 各測定点の汚染強度から汚染元素マッピング図を作成します。
• ウエハサイズは φ150mm～φ300mm に対応。測定点数は任意に選択できます。
  （それ以外のサイズについてはご相談ください。また、測定点を任意で設定する場合はお時間をいただきます。）
• 測定点はSEMI standardに対応。
  Concentric circle（同心円）グリッド、Cartesian（直交）グリッド、Single-diameter（単直径）グリッドをご用意しています。

迅速

• 高スループットを実現、迅速に対応します。

高感度

• 10¹⁰ atoms/cm² ～ オーダーの高感度です。
• 得られた結果を元に、通常の全反射蛍光X線分析（Direct-TXRF）でさらに高精度な分析もできます。