Espejo toroidal EUV
Proporcionamos espejos toroidales de alta precisión para regiones EUV, VUV y rayos X suaves.
rasgo
Los espejos toroidales de incidencia rasante se utilizan en sistemas experimentales que requieren un enfoque armónico de alto orden de banda ancha, como la ciencia de attosegundos. Los espejos toroidales de NTT-AT son utilizados por investigadores de muchas universidades e institutos de investigación debido a sus formas y diversos revestimientos que pueden adaptarse a sus necesidades.
Los espejos toroidales de incidencia directa se pueden utilizar en sistemas experimentales donde las aberraciones con espejos esféricos son un problema. Dependiendo de sus condiciones de uso, puede elegir entre recubrimientos multicapa EUV de alta reflectancia, banda ancha o banda estrecha.
Ejemplo de producción
Ángulo de incidencia oblicuo 3 grados
Ángulo de incidencia oblicuo 2 grados
コーティング例
Especificaciones típicas
Diseñaremos la forma del sustrato y el recubrimiento de acuerdo a su solicitud.
| Especificaciones típicas | |
|---|---|
| Longitud máxima del espejo | 200 mm |
| radio mínimo de curvatura | 10 mm |
| Precisión de la forma del tablero | λ/4 PV @633 nm |
| Material de revestimiento multicapa | Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg |
| Material de revestimiento de una sola capa | Au, Pt, Ru, Ni, B4C, SiC, C |
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