Diseño y producción de sistemas ópticos EUV/rayos X.
Diseñamos y fabricamos sistemas ópticos para enfocar y obtener imágenes de rayos ultravioleta extremo (EUV) y rayos X.
rasgo
El sistema óptico utilizado para enfocar y obtener imágenes de la luz EUV y los rayos X, que tienen longitudes de onda más cortas que la luz visible, depende del tipo de fuente de luz y del objeto a observar. Se utiliza un tipo de telescopio.
Además de proporcionar estos diversos sistemas ópticos, también proporcionamos sistemas y elementos ópticos para espectroscopia, formación y división de haces, elementos de evaluación y mecanismos de ajuste para diversos elementos ópticos. También ofrecemos espectrómetros EUV y de rayos X blandos de HP Spectroscope para su uso en Japón.
Ejemplo de producción
Se trata de un sistema óptico de condensación o de formación de imágenes que combina un espejo cóncavo de incidencia directa y un espejo convexo. Cada espejo está recubierto con un recubrimiento multicapa o con un recubrimiento de una sola capa dependiendo de la longitud de onda utilizada.
Se trata de un sistema óptico de condensación que combina dos espejos cóncavos con incidencia oblicua. Cada espejo está recubierto con una capa única para una reflexión total que coincide con la longitud de onda utilizada.
代表的な光学素子
Proporcionamos elementos ópticos, mecanismos de ajuste, recipientes de vacío, etc. según sus necesidades.
| Elementos ópticos típicos | |
|---|---|
| elemento de condensación | EUV/espejo de rayos X blando, espejo de rayos X duro, placa de zona de Fresnel, espejo toroidal, lente de condensación de luz ultravioleta |
| elemento espectroscópico | Rejilla de transmisión EUV, espejo dicroico EUV, polarizador multicapa de rayos X suave |
| elemento de conformación de haz | Tope del haz central de rayos X, orificio estenopeico de rayos X, hendidura de rayos X |
| elemento divisor de haz | Divisor de haz multicapa EUV |
| Espectrómetro/detector | EUV/espectrómetro/fotodetector de rayos X, contenedor de filtro de rayos X |
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