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espejo dicroico EUV

Ofrecemos espejos dicroicos que separan la luz EUV de la luz visible y la luz del infrarrojo cercano.

rasgo

imagen
espejo dicroico EUV
Para utilizar eficientemente la luz EUV generada por la generación de armónicos de alto orden, es necesario separar la luz de bomba de alta intensidad que se propaga coaxialmente con la luz EUV.
El espejo dicroico EUV NTT-AT refleja la luz EUV de banda ancha y evita el reflejo de la luz de la bomba visible o del infrarrojo cercano con un alto umbral de daño en comparación con los filtros de película delgada y los separadores de haz angular de Brewster.
Además de los productos estándar para antirreflejo de 800 nm, también ofrecemos productos personalizados basados en la longitud de onda deseada, el tamaño del espejo y el ángulo de incidencia. También ofrecemos productos con recubrimiento de doble cara para el acoplamiento de vigas.

標準品

grafico
DM20/800-2002のEUV反射プロファイル
grafico
DM30/800-2002の反射プロファイル

Las especificaciones estándar del producto son las siguientes.

DM-20/800-2002 DM-30/800-2002
ángulo oblicuo 12 grados
Polarización p-polarizado
Anti-reflejo <2% @ 800nm +/- 50nm
reflectancia UVE 60% a 20nm 40% a 30nm
Tipo de sustrato
cuarzo
Talla 50,8 mm de diámetro, 5,08 mm de espesor
reverso acabado de arena

特注品設計例

grafico
Espejo dicroico para longitud de onda 3 nm (ángulo de incidencia oblicuo 3 grados). Antirreflectante: <30 % a 1,5 μm.

ご要望に応じたコーティング設計をいたします。

Especificaciones típicas hechas a medida
Longitud máxima del tablero 300 mm
Banda de alta reflexión
3nm - 120nm
longitud de onda antirreflectante 400 nm, 800 nm, 1030 nm, 1,5 μm
Polarización
s-polarizado, p-polarizado
reverso revestido, acabado arena

Por favor, consultas en ingles.

No dude consultas en ingles para solicitar presupuestos o para cualquier otra consulta.