Divisor de haz EUV
Proporcionamos divisores de haz EUV con transmitancia y reflectancia arbitrarias.
rasgo
Mediante el uso de un divisor de haz EUV, que también se denomina medio espejo EUV, la luz EUV se puede dividir en componentes transmisivos y reflectantes de la misma manera que la luz visible y la luz ultravioleta. Este elemento óptico, que consta de una película multicapa de Mo/Si independiente, se utiliza en la construcción de interferómetros y como monitor de haz. Previa solicitud, podemos personalizar la relación de transmisión/transmisión, el ángulo de incidencia, etc. en la región de longitud de onda de 13,5 nm.
設計例
波長13.5 nm, s偏光用ビームスプリッタの反射・透過特性
標準仕様
Personalizaremos la relación de transmisión/reflexión, el ángulo incidente, la longitud de onda central y el tamaño de acuerdo con su solicitud. También lo ofrecemos montado en un soporte de metal.
| Especificaciones estándar | |
|---|---|
| Parte del divisor de haz | 7 x 7 mm, autoportante Mo/Si multicapa |
| parte del marco | Sustrato de Si de 14 mm x 14 mm, 0,5 mm de espesor |
| Ángulo de incidencia | 45 grados, 6 grados |
| longitud de onda central | 13,5nm |
| Características de reflexión/transmisión | 1:1, alta reflexión, alta transmisión |
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