Espejo EUV / espejo de rayos X suave
Proporcionamos espejos multicapa y espejos de una sola capa para EUV.
rasgo
Proporcionamos espejos EUV que reflejan la luz EUV con energía fotónica de 10 eV - 1 keV (longitud de onda 120 nm - 1,2 nm) con alta eficiencia. Este espejo de banda de energía, también llamado luz de rayos X suave o luz XUV, se utiliza en una amplia gama de campos, como aplicaciones industriales como litografía EUV, investigación física y química de ultra alta velocidad que utiliza armónicos de alto orden, aplicaciones de astrofísica, y observación de plasma de rayos X blandos.
Los espejos de película multicapa se utilizan principalmente para la incidencia directa, y los espejos de película de una sola capa se utilizan principalmente para la incidencia oblicua.
ejemplo de diseño
Especificaciones típicas
Diseñaremos la forma del sustrato y el recubrimiento de acuerdo a su solicitud.
| Especificaciones típicas | |
|---|---|
| Talla máxima | Diámetro 3 mm - 450 mm |
| forma de espejo | Plano, Cóncavo, Cilíndrico, Parabólico, Esferoidal, Toroidal |
| material multicapa | Ru/B4C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg, W/B4C |
| material de una sola capa | Ru, B4C, C, Ni, Au |
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Ejemplo de diseño de espejo multicapa EUV
Este es un ejemplo de diseño de un espejo multicapa para 20 eV - 150 eV (longitud de onda 60 nm - 8 nm).
Espejo multicapa Ru/B 4C
(150 eV - 100 eV)
Para 150 eV
Para 120 eV
Para 100 eV
Espejo multicapa Mo/Si (95 eV - 70 eV)
Para 90 eV
Para 80 eV
Espejo multicapa de Zr/AlSi
(70 eV - 50 eV)
Para 70 eV
Para 60 eV
Para 50 eV
Espejo multicapa de SiC/Mg
(45 eV - 20 eV)
Para 40 eV
Para 30 eV
Para 20 eV
Especificaciones estándar del espejo multicapa EUV
| Modelo estandar | EUVML-(a)-(b)-(c)-(d)-(e)(f) |
|---|---|
| (a) Material de película multicapa | Ru/B4C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg |
| (b) Tipo reflexivo | H: alta reflectividad, N: banda estrecha, B: banda ancha |
| (c) Ángulo de incidencia | 0 grados - 60 grados |
| (d) energía central | 20 eV - 150 eV (60 nm - 8 nm) |
| (e) Tamaño del tablero | 1025: 1 pulgada de diámetro x 0,25 pulgadas de espesor 0525: 0,5" de diámetro x 0,25" de espesor |
| (f) Tipo de placa | F: plano, C: cóncavo (radio de curvatura 100 mm - 3000 mm) |
Ejemplo de diseño de espejo de película de una sola capa EUV
Este es un ejemplo de diseño para un espejo de una sola capa para el rango de 10 eV a 1 keV (longitud de onda de 120 nm a 1,2 nm).
Au Mirror
Ni espejo
Espejo Ru
Espejo de SiC
Espejo B 4 C
Especificaciones estándar del espejo de una sola capa EUV
| Modelo estandar | EUVSM-(a)-(b)(c) |
|---|---|
| a) Material de revestimiento | Au, Ni, Ru, B4C, SiC |
| (b) Tamaño del sustrato | 1025: 1 pulgada de diámetro x 0,25 pulgadas de espesor 0525: 0,5" de diámetro x 0,25" de espesor |
| (c) Tipo de sustrato | F: plano, C: cóncavo (radio de curvatura 100 mm - 3000 mm) |
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