Polarizador multicapa de rayos X blandos
Proporcionamos polarizadores reflectantes para la región EUV y la región de rayos X suaves.
rasgo

En la región EUV y la región de rayos X suaves, donde el índice de refracción del material es cercano a 1, el ángulo de Brewster es de alrededor de 45 grados. Por lo tanto, el espejo multicapa para uso alrededor de 45 grados tiene una alta reflectancia sólo para luz s-polarizada y también funciona como polarizador. Utilizando esta característica, ofrecemos polarizadores multicapa con eficiencia suficiente desde aproximadamente 30 eV a 800 eV (1,5 nm - 40 nm).
Estos polarizadores multicapa se utilizan no sólo para experimentos de propiedades físicas utilizando radiación sincrotrón y armónicos de alto orden, sino también para investigación básica para aplicaciones industriales como la litografía EUV.
ejemplo de diseño
Línea continua: luz polarizada s, línea discontinua: luz polarizada p




Especificaciones típicas
Diseñaremos la forma del sustrato y el recubrimiento de acuerdo a su solicitud.
| Especificaciones típicas | |
|---|---|
| tamaño base | 10 mm x 10 mm x 1 mm de espesor |
| Material de sustrato | Si |
| material multicapa | SiC/Mg, Zr/AlSi, Mo/Si, Ru/B4C, W/B4C |
| Rango de energía compatible | 30 eV - 800 eV |
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