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Polarizador multicapa de rayos X blandos

Proporcionamos polarizadores reflectantes para la región EUV y la región de rayos X suaves.

rasgo

imagen del polarizador
Polarizador multicapa W/B4C

En la región EUV y la región de rayos X suaves, donde el índice de refracción del material es cercano a 1, el ángulo de Brewster es de alrededor de 45 grados. Por lo tanto, el espejo multicapa para uso alrededor de 45 grados tiene una alta reflectancia sólo para luz s-polarizada y también funciona como polarizador. Utilizando esta característica, ofrecemos polarizadores multicapa con eficiencia suficiente desde aproximadamente 30 eV a 800 eV (1,5 nm - 40 nm).
Estos polarizadores multicapa se utilizan no sólo para experimentos de propiedades físicas utilizando radiación sincrotrón y armónicos de alto orden, sino también para investigación básica para aplicaciones industriales como la litografía EUV.

ejemplo de diseño

Línea continua: luz polarizada s, línea discontinua: luz polarizada p

grafico
エネルギー60 eV用偏光子
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エネルギー90 eV用偏光子
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依存性エネルギー150 eV用偏光子
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エネルギー300 eV用偏光子

Especificaciones típicas

Diseñaremos la forma del sustrato y el recubrimiento de acuerdo a su solicitud.

Especificaciones típicas
tamaño base 10 mm x 10 mm x 1 mm de espesor
Material de sustrato Si
material multicapa SiC/Mg, Zr/AlSi, Mo/Si, Ru/B4C, W/B4C
Rango de energía compatible 30 eV - 800 eV

Por favor, consultas en ingles.

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