EUV光学部品 お客様のご用途に合わせて、EUV光学部品を設計・製作・調整します。 EUVミラー / 軟X線ミラー EUVトロイダルミラー EUVダイクロイックミラー EUVビームスプリッタ 透過型回折格子 紫外光用集光レンズ 軟X線多層膜偏光子
