EUVトロイダルミラー

斜入射のトロイダルミラーは、アト秒科学など広帯域な高次高調波の集光を必要する実験系で用いられています。 NTT-ATのトロイダルミラーはご用途に合わせた形状と多様なコーティングのご提案により多くの大学や研究機関の研究者にご利用いただいております。
直入射のトロイダルミラーは球面鏡での収差が課題となるような実験系でお使いいただけます。 ご使用条件に応じて高反射率やブロードバンド、あるいはナローバンドなEUV多層膜コーティングをお選びいただけます。