Silizium-Wellenleiter (Silizium-Photonik)
Foundry-Services, die Spitzenforschung und -entwicklung unterstützen
Fördern Sie Ihre Forschung und Entwicklung und verwirklichen Sie Ihre Ideen! !
Merkmale unseres Fertigungsservices für Silizium-Wellenleiter
Fertigung von Siliziumwellenleitern nach Kundendesign
Wir realisieren ultrafeine optische Schaltungen nach Kundendesign auf einer Plattform, die auf Siliziumdraht-Wellenleitern basiert und durch fortschrittliche Verarbeitungstechnologie unterstützt wird.
*Bitte erstellen Sie eine Konstruktionszeichnung (GDSⅡ-Format oder DXF-Format).
Erzielt verlustarme Verbindungen zwischen Silizium-Wellenleitern und Glasfaser-Arrays
Durch den Einsatz eines Spot-Size-Konverters wird eine verlustarme Verbindung mit optischen Fasern ermöglicht, wodurch Kunden hochpräzise Auswertungen durchführen können.
In der Lage, verschiedene Designanforderungen zu erfüllen
Wir bieten Optionen, um den vielfältigen Bedürfnissen unserer Kunden gerecht zu werden, darunter die präzise Steuerung der optischen Eigenschaften und die Kombination mit verschiedenen Materialien wie Polymeren.
Nahtlose Unterstützung von der Herstellung von Silizium-Wellenleitern → Merkmalsauswertung → Glasfasermontage
Wir können nahtlos nicht nur die Herstellung von Silizium-Wellenleitern übernehmen, sondern auch die Bewertung der optischen Eigenschaften und die Montage von optischen Fasern auf Chips nach Kundenwunsch.
1. Silizium-Nanodraht-Wellenleiter – Beispiel für die Herstellung eines einfachen Prototyp-Chips –
Wir realisieren ultrafeine optische Schaltungen basierend auf Kundendesigns auf Si-Draht-Wellenleiter-basierten Plattformen.
Beispiel für eine Spezifikation
| Durchmesser des Wellenleiterkerns | 400–500 nm Breite x 220 nm Dicke |
|---|---|
| Ringresonatorspalt | 150 nm oder mehr |
| Wellenleiterbereich | 5mm x 5mm |
| SS Umwandlungskerndurchmesser | 3μm×3μm |
| Wellenleiterabstand des SS-Konverters | 50 μm oder mehr |
| Chip-Schnittgröße | 15 mm x 5,6 mm |
Unterstützt passive Wellenleiter und optische Schaltungen.
2. Verlustarme Verbindung: Spot-Größen-Konverter
Durch Hinzufügen einer Punktgrößenkonvertierung am Ende des Wellenleiters kann dieser mit geringem Verlust an eine optische Faser oder einen Laser angeschlossen werden. (1,5 [dB/Verbindung])
Ein Beispiel für den Anschluss eines optischen Faserarrays an einen Si-Chip
Faserarray-Verbindungsstruktur
3. Optionale Verarbeitungsbeispiele
- Heizung zur Temperaturregelung und zusätzliche Verkabelung
- Steuert die Übertragungswellenlänge durch Steuerung des Brechungsindex mit hoher Präzision.
- Einführung von Funktionsmaterialien
- Einführung von Funktionsmaterialien wie polarisierten Materialien.
Ultrakleines Ta-Heizelement zur Temperaturregelung
- Anwendungsbeispiel
-
Optische Schalter, Präzisions-Wellenlängenfilter
- Kundenanforderungen
-
○Präzise Steuerung der optischen Eigenschaften durch lokale Erwärmung
- Lösung
-
- Durch die Verwendung eines dünnen Films aus Tantal, einem Metall mit hohem Schmelzpunkt, ist uns ein Heizelement gelungen, das schwer zu zerbrechen ist.
- Hochpräzise Formgebung ermöglicht ultrafeine Heizelemente
- Die niederohmige Goldverdrahtung ermöglicht nur das Erhitzen bestimmter Bereiche.
Beispiel für die Bearbeitung eines Ta-Heizmusters auf Quarz (ummantelt)
Anwendungsbeispiel
Einführung funktionaler Materialien
Die Deckverkleidung kann aus einer Vielzahl funktionaler Materialien hergestellt werden.
- Anwendungsbeispiel
-
Sensoren, Modulatoren
- Kundenanforderungen
-
Hybridisierung von Si-Wellenleitern und Funktionsmaterialien
- Lösung
-
- Realisierung einer teilweise freiliegenden Si-Wellenleiterstruktur
- Um Beschädigungen des Si-Wellenleiters zu vermeiden, wird eine Kombination aus Trocken- und Nassätzen verwendet.
- Realisierung eines Prozesses, der keine teilweise Überdeckung bildet
