EUV光學元件

お客様のご用途に合わせて、EUV光学部品を設計・製作・調整します。

EUV鏡/軟X線鏡

EUV環形反射鏡

EUV雙色鏡

EUV分束器

透射光柵

紫外聚光透鏡

軟X射線多層膜偏振器