EUV分束器
提供具有任意透射率和反射率的EUV分束器。
特征
使用EUV分束器 (也稱為EUV半反射鏡) ，您可以將EUV光與可見光和紫外光一樣分為透射光和反射光。該光學元件由自持式Mo/Si多層膜組成，用於構建幹涉儀和波束監視器。根據您的要求，我們定制並提供13.5 nm波長範圍內的透射/透射比和入射角。
設計例
波長13.5 nm, s偏光用ビームスプリッタの反射・透過特性
標準仕様
我們可以根據您的要求定制透射/反射比、入射角、中心波長和尺寸。我們還提供安裝在金屬支架上的狀態。
| 標準規格 | |
|---|---|
| 光束分離器 | 7x7mm、自立型Mo/Si多層膜 |
| 框部 | 14 mm×14 mm、0.5 mm厚Si底板 |
| 入射角 | 45度，6度 |
| 中心波長 | 13.5 nm |
| 反射和透射特性 | 1:1,高反射，高透射 |
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