軟X射線多層膜偏振器

在EUV區域和軟X射線區域，材料的折射率接近1，布儒斯特角約為45度。因此，45度左右使用的多層鏡僅對s偏振光具有高反射率，並且還起到偏振器的作用。利用此特性，我們提供具有足夠效率的多層膜偏振片，效率範圍約 30 eV 至 800 eV (1.5 nm - 40 nm)。
這些多層偏振片不僅可用於使用同步加速器輻射和高次諧波的物理性能實驗，還可用於 EUV 光刻等工業應用的基礎研究。