EUV光學元件 根據客戶的用途，設計、制作、調整EUV光學部件。 EUV鏡/軟X線鏡 EUV環形反射鏡 EUV雙色鏡 EUV分束器 透射光柵 紫外聚光透鏡 軟X射線多層膜偏振器 目錄 EUV·X射線光學部件 EUV/X射線分光器、光檢測器 EUV/X射線光學係統設計·制作 EUV光學元件 EUV鏡像/軟X射線鏡像 EUV環形反射鏡 EUV分色鏡 EUV光束分離器 透射光柵 紫外光用聚光鏡 軟X射線多層偏振器 X射線光學元件
