EUV環形反射鏡

掠入射環形鏡用於需要寬頻高階諧波聚焦的實驗系統，例如阿秒科學。NTT-AT的環形鏡因其形狀和可根據其需求量身定制的各種塗層而被許多大學和研究機構的研究人員使用。
直接入射環形鏡可用於球面鏡的像差問題存在的實驗系統中。根據您的使用條件，您可以選擇高反射率、寬頻或窄頻 EUV 多層鍍膜。