X線チャート

特徴

X線顕微鏡は高解像度のイメージング手法として様々な分野で応用されていますが、その評価には十分に高い解像度を持つチャートが必要です。高精細なタンタル(Ta)製の吸収体パタンをSiCおよびSiNメンブレン上に形成したNTT-ATのX線チャートは、世界中の放射光施設などで解像度評価にお使いいただいています。
ご用途に合わせ、標準タイプ・厚膜高解像度タイプ・超高解像度タイプの3種からお選びいただけます。 EUV領域用の反射型チャートもご提供いたします。

標準品仕様

項目		標準タイプ XRESO-100	厚膜高解像度タイプ XRESO-50HC	超高解像度タイプ XRESO-20
パタン	吸収体	Ta, 1.0 µm厚	Ta, 500 nm厚	Ta, 100 nm厚
	最小寸法	100 nm	50 nm	20 nm（放射状パタン）
	パタン領域	250 µm×350 µm	300 µm×300 µm
メンブレン		Ru (20 nm)/SiN (2 µm)	Ru (20 nm)/SiC (200 nm)/SiN (50 nm)
基板	材質・外形	Si, 10 mm×10 mm
基板	厚み	1 mm	0.625 mm