X线图
提供X射线显微镜用的分辨率测试图表。
特征
X射线显微镜作为高分辨率成像方法应用于各个领域，但需要具有足够高分辨率的图表来进行评估。NTT-AT的 X 射线图具有在 SiC 和 SiN 膜上形成的高清钽 (Ta) 吸收体图案，用于世界各地同步加速器辐射设施的分辨率评估。
根据您的应用，您可以选择三种类型：标准型、厚膜高分辨率型和超高分辨率型。我们还提供 EUV 区域的反射图表。
标准品规格
| 条目 | 标准型 XRESO-100 |
厚膜高分辨率型 XRESO-50HC |
超高分辨率型 XRESO-20 |
|
|---|---|---|---|---|
| 帕坦 | 吸收体 | Ta, 1.0μm厚 | Ta, 500 nm厚 | Ta, 100 nm厚 |
| 最小尺寸 | 100 nm | 50 nm | 20 nm (径向图案) | |
| 模式区域 | 250 µm×350 µm |
300 µm×300 µm
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| 薄膜 | Ru (20 nm)/SiN (2 µm) | Ru (20 nm)/SiC (200 nm)/SiN (50 nm) | ||
| 基板 | 材质、外形 | Si, 10 mm×10 mm | ||
| 厚度 | 1 mm | 0.625 mm | ||
※记载的规格等为了改良产品，可能会有变更。请谅解。
代表图案SEM像
(XRSO-20)
(XRESO-20)
(XRSO-20)
(XRESO-50HC)
图案布局
(1) 放射状图案，(2) 100 nm霍尔图案，(3) 50 nm线条&空间图案
(1) 放射状图案，(2) 50 nm线条&间距图案
摄像示例
（由东建株式会社提供）
自定义图表制造实例
多层膜：Mo/Si，波长 13.5 nm，吸收体：Ta
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