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Conception et production de systèmes optiques EUV/rayons X

Nous concevons et fabriquons des systèmes optiques pour la focalisation et l’imagerie des rayons ultraviolets extrêmes (EUV) et X.

caractéristique

Image avec un miroir dans les deux mains
Télescope Cassegrain EUV

Le système optique utilisé pour focaliser et imager la lumière EUV et les rayons X, qui ont des longueurs d'onde plus courtes que la lumière visible, dépend du type de source de lumière et de l'objet à observer. Un type de télescope est utilisé.
En plus de fournir ces différents systèmes optiques, nous fournissons également des systèmes et éléments optiques pour la spectroscopie, la formation et la division de faisceaux, des éléments d'évaluation et des mécanismes de réglage pour divers éléments optiques. Nous proposons également des spectromètres EUV et à rayons X mous de HP Spectroscopy pour une utilisation au Japon.

Exemple de fabrication

Exemple d'image de production
Miroir concave multicouche Mo/Si et miroir convexe
Exemple d'image de production
Unité télescope (arrière) et unité diamètre de condensation (avant)

Il s'agit d'un système optique de condensation ou d'imagerie qui combine un miroir concave à incidence directe et un miroir convexe. Chaque miroir est recouvert d'un revêtement multicouche ou d'un revêtement monocouche selon la longueur d'onde utilisée.

Exemple d'image de production
Miroir concave pour système optique à miroir K-B
Exemple d'image de production
Unité de système optique à miroir K-B

Il s'agit d'un système optique à condensation qui combine deux miroirs concaves à incidence oblique. Chaque miroir est recouvert d'un revêtement monocouche pour une réflexion totale qui correspond à la longueur d'onde utilisée.

代表的な光学素子

Nous fournissons des éléments optiques, des mécanismes de réglage, des conteneurs sous vide, etc. selon vos besoins.

Veuillez Demandes en anglais.

N'hésitez pas Demandes en anglais pour obtenir un devis ou pour toute autre question.