Séparateur de faisceau EUV
Nous fournissons des séparateurs de faisceau EUV avec une transmission et une réflectance arbitraires.
caractéristique
En utilisant un séparateur de faisceau EUV, également appelé demi-miroir EUV, la lumière EUV peut être divisée en composants transmissifs et réfléchissants de la même manière que la lumière visible et la lumière ultraviolette. Cet élément optique, qui se compose d'un film multicouche Mo/Si autonome, est utilisé dans la construction d'interféromètres et comme moniteur de faisceau. Sur demande, nous pouvons personnaliser le rapport transmission/transmission, l'angle d'incidence, etc. dans la région de longueur d'onde de 13,5 nm.
設計例
波長13.5 nm, s偏光用ビームスプリッタの反射・透過特性
標準仕様
Nous personnaliserons le rapport de transmission/réflexion, l'angle d'incidence, la longueur d'onde centrale et la taille en fonction de votre demande. Nous le proposons également monté dans un support métallique.
| Spécifications standards | |
|---|---|
| Partie séparateur de faisceau | 7 x 7 mm, multicouche Mo/Si autoportant |
| partie de cadre | 14 mm x 14 mm, substrat Si de 0,5 mm d'épaisseur |
| Angle d'incidence | 45 degrés, 6 degrés |
| longueur d'onde centrale | 13,5 nm |
| Caractéristiques de réflexion/transmission | 1:1, haute réflexion, haute transmission |
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