Polariseur multicouche à rayons X doux

Dans la région EUV et la région des rayons X mous où l'indice de réfraction du matériau est proche de 1, l'angle de Brewster est d'environ 45 degrés. Par conséquent, le miroir multicouche destiné à être utilisé à environ 45 degrés a une réflectance élevée uniquement pour la lumière polarisée s et fonctionne également comme polariseur. En utilisant cette caractéristique, nous proposons des polariseurs à film multicouche avec une efficacité suffisante d'environ 30 eV à 800 eV (1,5 nm - 40 nm).
Ces polariseurs à film multicouche sont utilisés non seulement pour les expériences sur les propriétés physiques utilisant le rayonnement synchrotron et les harmoniques d'ordre élevé, mais également pour la recherche fondamentale pour des applications industrielles telles que la lithographie EUV.