Miroir dichroïque EUV
Nous proposons des miroirs dichroïques qui séparent la lumière EUV de la lumière visible et de la lumière proche infrarouge.
caractéristique
Afin d'utiliser efficacement la lumière EUV générée par la génération d'harmoniques d'ordre élevé, il est nécessaire de séparer la lumière de pompage à haute intensité se propageant coaxialement avec la lumière EUV.
Le miroir dichroïque EUV de NTT-AT réfléchit la lumière EUV à large bande et empêche la réflexion de la lumière de pompe visible ou proche infrarouge avec un seuil de dommage élevé par rapport aux filtres à couches minces et aux séparateurs de faisceaux angulaires de Brewster. .
En plus des produits standard pour l'anti-reflet 800 nm, nous proposons également des produits personnalisés basés sur la longueur d'onde souhaitée, la taille du miroir et l'angle d'incidence. Nous proposons également des produits revêtus double face pour le couplage de faisceaux.
Le miroir dichroïque EUV de NTT-AT réfléchit la lumière EUV à large bande et empêche la réflexion de la lumière de pompe visible ou proche infrarouge avec un seuil de dommage élevé par rapport aux filtres à couches minces et aux séparateurs de faisceaux angulaires de Brewster. .
En plus des produits standard pour l'anti-reflet 800 nm, nous proposons également des produits personnalisés basés sur la longueur d'onde souhaitée, la taille du miroir et l'angle d'incidence. Nous proposons également des produits revêtus double face pour le couplage de faisceaux.
標準品
Les spécifications standard du produit sont les suivantes.
| DM-20/800-2002 | DM-30/800-2002 | |
|---|---|---|
| angle oblique | 12 degrés | |
| Polarisation | polarisé p | |
| Anti reflet | <2% @ 800nm +/- 50nm | |
| Réflexion EUV | 60 % à 20 nm | 40 % à 30 nm |
| Type de substrat |
quartz
|
|
| Taille | 50,8 mm de diamètre, 5,08 mm d'épaisseur | |
| verso | finition sablée | |
特注品設計例
ご要望に応じたコーティング設計をいたします。
| Spécifications typiques sur mesure | |
|---|---|
| Longueur maximale de la planche | 300mm |
|
Bande à haute réflexion
|
3nm - 120nm |
| longueur d'onde antireflet | 400nm, 800nm, 1030nm, 1.5μm |
| Polarisation |
polarisé s, polarisé p
|
| verso | enduit, finition sablée |
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