Miroir toroïdal EUV
Nous fournissons des miroirs toroïdaux de haute précision pour les régions EUV, VUV et rayons X mous.
caractéristique

Les miroirs toroïdaux à incidence rasante sont utilisés dans les systèmes expérimentaux qui nécessitent une focalisation harmonique d'ordre élevé à large bande, comme la science attoseconde. Les miroirs toroïdaux de NTT-AT sont utilisés par les chercheurs de nombreuses universités et instituts de recherche en raison de leurs formes et de leurs divers revêtements qui peuvent être adaptés à leurs besoins.
Les miroirs toroïdaux à incidence directe peuvent être utilisés dans des systèmes expérimentaux où les aberrations avec les miroirs sphériques posent problème. En fonction de vos conditions d'utilisation, vous pouvez choisir entre des revêtements multicouches EUV à haute réflectance, à large bande ou à bande étroite.
Exemple de fabrication

Angle d'incidence oblique 3 degrés

Angle d'incidence oblique 2 degrés
コーティング例


Spécifications typiques
Nous concevrons la forme et le revêtement du substrat en fonction de votre demande.
| Spécifications typiques | |
|---|---|
| Longueur maximale du miroir | 200 mm |
| rayon de courbure minimum | 10 mm |
| Précision de la forme de la planche | λ/4 PV @633 nm |
| Matériau de revêtement multicouche | Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg |
| Matériau de revêtement monocouche | Au, Pt, Ru, Ni, B4C, SiC, C |
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