絶縁膜形成

プラズマCVD、スパッタによる各種絶縁膜形成を承ります。

仕様

形成方式「スパッタ」につきましては、薄膜形成・加工のページをご覧ください。

評価

触針段差計による膜厚評価、及びエリプソメータによる膜質・膜厚評価が可能です。