- Hemos hecho posible medir los tamaños de haz finos de haces de electrones, haces de iones y rayos X.
- El ancho del haz se puede medir en unidades nm.
- Las medidas 1D y 2Destán disponibles.
(a) Estructura de escala y
(b) Intensidad del haz de electrones transmitidos
(b) Intensidad del haz de electrones transmitidos
Ejemplo de medición del tamaño del haz de electrones
Referencias:
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34（1995）6940
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34（1995）6940
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