Escala de medición | Productos relacionados con el análisis | Sitio de introducción de productos de tecnología avanzada NTT-AT

Ideal para la calibración de longitud y ángulo de microscopios de sonda de barrido, etc. Esencial para la evaluación de patrones finos
Precio bajo y tiempo de entrega corto

※ ピッチ100nm以下の極微細パタンについても特注で対応いたします。

	Tipo vertical (AS100P-D)	Tipo inclinado (AS200P-A)
Uso	Calibración de longitud, evaluación de la forma de la sonda	calibración de ángulo
rasgo	Dado que el grabado anisotrópico se usa en un sustrato de Si (110), la forma del patrón es vertical y precisa. La medición precisa de la forma de la sonda es posible gracias al alto grado de ortogonalidad	Dado que el grabado anisotrópico se usa en un sustrato de Si (100), el ángulo de inclinación del patrón tiene una precisión de 54,7 grados. Ángulo de inclinación preciso de 54,7 grados, ideal para confirmar la reproducibilidad del equipo
ángulo de inclinación	90 grados	54,74 grados
Tipo de patrón	1:1 L&S (cóncavo fuera del área del patrón)	400 nm L&S Grano de 400nm 200 nm L&S 100 nmL&S o más 4 tipos
Ancho de línea (convexo)	50～250 nm	100～400 nm
profundidad del patrón	125 nm±20％	100-200 nm (listo para usar)
área de patrón	200 μm × 200 μm	184 μm × 184 μm × 4 (semilla)
sustrato	Si 10mm×10mm×0.525mmt	Si 10mm×10mm×0.525mmt