Muestra estándar para análisis de dirección de profundidad

Es una muestra estándar de película multicapa utilizada para la evaluación de la resolución de la dirección de profundidad, la medición de la distancia y la evaluación de la sensibilidad, como análisis SIMS, AES, XPS y XRF.
Le proporcionaremos una muestra estándar de la combinación de materiales deseada, el grosor de la película y el número de capas.

作製例

Muestra de película multicapa Si/BN

• Esta es una muestra de película laminada utilizada para el análisis de dirección de profundidad, como el análisis SIMS.
• Además de las muestras de películas multicapa periódicas, también manejamos muestras de películas multicapa no periódicas.
• También es posible formar una capa ultrafina de BN (~0,01 nm).

Muestra de película multicapa Si/Mo

Varias muestras laminadas

• Podemos manejar películas laminadas de varios materiales.
• La siguiente figura es un ejemplo de una muestra en la que se laminan cuatro tipos diferentes de materiales.

Ejemplo de evaluación de estructura transversal y diagrama esquemático por TEM