因为是紫外线硬化树脂,所以可以用各种方法制作波导。
- 直接曝光法
- RIE方法
- 模压法
特征
- 屈折率を0.001単位で指定可能
- 优异的透光性
- 粘度可调,旋涂时膜厚可控性好
- 折射率可控制在1.43~1.62的范围内,精度可达±0.005
【应用实例】 光波导的包层
平坦性、折射率整合性好,有焊料耐热等级,也适用于层间绝缘膜。

直接曝光法制作波导的实例

多级波导的制作示例
(环氧树脂用于包层/MM波导芯)
(环氧树脂用于包层/MM波导芯)
因为平坦性很好,所以也适合制作多段波导。
规格
芯/覆层材料组合 (*1)
主成分 | 折射率830 nm | 特征 |
---|---|---|
环氧系 |
核心:1.53±0.005
包层:1.51±0.005 |
芯:粘度=2,200mPas Tg=222℃ Δn=1.3% (@830nm) 包层:粘度=2,900mPas Tg=200℃ |
*1 ...含有“医药用外剧物”的产品(关于操作,请参照SDS。)
折射率调整类型
主成分 | 折射率调整范围 | 特征 |
---|---|---|
环氧系 | nD=1.43~1.62 | 可调粘度 (旋涂膜厚容易控制。) |
表中的特性值是样品测量值,不是保证值。
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