大型試料のSEM観察・分析

大型チャンバーを備えた大型SEMにより、大型サンプルの観察ができます。

• 対応サイズ
  ・ 直径300mm（12インチ）まで
  ・ 高さ130mmまで
  ・ 重量5kgまで
• EDSによる組成分析も可能です。
• 大型ステージマイクロスコープでの予備観察が可能です。
  ・ 広域連続撮影可能
  ・ 各種計測、3D表示可能

※ 直径300mmまでのサンプルをセットできますが、観察・測定できるのは直径200mmまでの範囲となります。
    観察・測定可能な範囲は、形状によって異なりますので、異形サンプルの場合はご相談ください。
※ 複雑な形状の場合、固定方法の問題等から高さ重量の制限が出る場合もございますので、ご相談ください。

大型ステージマイクロスコープによる観察

30cm四方の自動ステージ（写真の観察対象は12インチウェハ）

12インチウェハ1/4面の連続撮影

付着異物の撮影・計測

大型SEMによる観察・分析

大型チャンバーへの導入（写真の観察・分析対象は12インチウェハ）

付着物のSEM観察

付着物の元素マップ

付着物のスペクトル
※ SEM観察・元素マップ画像中央の付着物を分析
※ 画像をクリックすると、大きく表示されます

Element	at%
C	29.8
N	5.7
O	41.4
Mg	1.0
Al	5.3
Si	9.4
K	1.2
Fe	6.3
Total	100.0

半定量分析

適用例

• 12インチウェハ表面のパターン形状観察、付着物の観察・組成分析
• クロムマスクの表面異常部・付着物の観察・組成分析
• 電子部品の異物、付着物の観察・組成分析
• 工具・部品等の破損状態の観察・組成分析
• 異形部材の異常部観察・分析（棒状、板状、組み合わせ）
• 長尺部材（金属部材、コンクリート部材、プラスチック成型部材）の腐食・劣化状態観察・分析
  ※ 長尺部材について、装置に入らない大きさ、形状の場合、切断加工の対応も可能です。 また、断面作製の対応も可能です。