10nmフィードバックステージ NFS-PX
分解能10nmタイプのフィードバックステージです。
8種類のテーブル面サイズから選択ができます。
本製品はシグマ光機社製です。
本ホームページに記載の内容は、予告なしに変更する場合があります。
分解能10nm NFS-PXシリーズ ラインアップ
リンクをクリックすると、フィードバックステージNFSシリーズ 総合カタログ（PDF：6.2MB）が表示されます。
| 品番 | テーブル面サイズ | 移動量 |
|---|---|---|
| NFS60-20PXpdf | 75×60mm | 20nm |
| NFS60-40PXpdf | 110×60mm | 40nm |
| NFS100-50PXpdf | 100×100mm | 50nm |
| NFS100-100PXpdf | 175×100mm | 100nm |
| NFS120-50PXpdf | 120×120mm | 50nm |
| NFS120-100PXpdf | 175×120mm | 100nm |
| NFS180-200PXpdf | 230×180mm | 200nm |
| NFS180-300PXpdf | 330×180mm | 300nm |
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