微細ビーム幅計測用スケール
- 電子ビーム、イオンビーム、X線の微細なビームサイズの測定を可能にしました。
- nm単位でビーム幅が計測できます。
- 1次元、2次元計測用がございます。
（b）透過した電子線強度
電子ビームサイズの測定例
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34（1995）6940