EUV镜/软X线镜
我们提供EUV用的多层膜镜和单层膜镜。
特征
我们提供可高效反射光子能量为 10 eV - 1 keV（波长 120 nm - 1.2 nm）的 EUV 光的 EUV 反射镜。这种能带反射镜，也称为软 X 射线或 XUV 光，广泛用于 EUV 光刻等工业应用、使用高次谐波的超高速物理和化学研究、天体物理学应用、和软X射线等离子体观测。它是
多层膜反射镜主要用于直入射，单层膜反射镜主要用于斜入射。
代表性规格
我们会根据您的要求进行基板形状设计和涂层设计。
| 代表性规格 | |
|---|---|
| 最大大小 | 直径3 mm -450 mm |
| 镜像形状 | 平面、凹面、圆柱面、抛物面、旋转椭圆面、环形面 |
| 多层膜材料 | Ru/B4C、Mo/Si、Zr/AlSi、SiC/Mg、W/B4C |
| 单层薄膜材料 | Ru、B4C、C、Ni、Au |
资料下载
EUV多层膜镜设计实例
20 eV -150 eV (波长60 nm -8 nm) 用多层膜镜的设计实例。
Ru/B 4 C多层膜镜像
(150 eV -100 eV)
用于150 eV
用于120 eV
用于100 eV
Mo/Si多层膜镜像 (95 eV -70 eV)
用于90 eV
用于80 eV
Zr/AlSi多层膜镜像
(70 eV -50 eV)
用于70 eV
用于60 eV
用于50 eV
SiC/Mg多层膜镜像
(45 eV -20 eV)
用于40 eV
用于30 eV
用于20 eV
EUV多层膜反射镜标准品规格
| 标准型号 | EUVML-(a)-(b)-(c)-(d)-(e)(f) |
|---|---|
| (a)多层膜材料 | Ru/B4C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg |
| (b)反射类型 | H:高反射率，N:窄带，B:宽带 |
| (c)入射角 | 0度-60度 |
| (d)中心能量 | 20 eV - 150 eV (60 nm - 8 nm) |
| (e)电路板尺寸 | 1025：1 英寸直径 x 0.25 英寸厚 0525：0.5" 直径 x 0.25" 厚 |
| (f)电路板类型 | F:平面，C:凹面 (曲率半径100 mm -3000 mm) |
EUV单层膜镜设计实例
10 eV -1 keV (波长120 nm -1.2 nm) 单层膜镜的设计示例。
Au镜像
镍镜像
Ru镜像
SiC镜像
B 4 C镜像
EUV单层膜镜标准品规格
| 标准型号 | EUVSM-(a)-(b)(c) |
|---|---|
| (a)涂层材料 | Au, Ni, Ru, B4C, SiC |
| (b)基板尺寸 | 1025：1 英寸直径 x 0.25 英寸厚 0525：0.5" 直径 x 0.25" 厚 |
| (c)基板类型 | F:平面，C:凹面 (曲率半径100 mm -3000 mm) |
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