高感度加速度センサ 独自のメタル積層技術を用いて作製した静電容量型MEMS（Microelectromechanical Systems）加速度センサです。一般的なシリコン製MEMS加速度センサと比べて、デバイス自身のノイズ性能を大幅に小さくすることが可能です。 高感度加速度センサ
